部分產(chǎn)線(xiàn)停擺！傳臺積電5nm晶圓廠(chǎng)出現氣體污染事故

聯(lián)合報7月30日報道，臺積電先進(jìn)制程的南科18a廠(chǎng)，因部分來(lái)自廠(chǎng)商供應氧體疑似受到污染，7月29日晚間部分產(chǎn)線(xiàn)停擺。臺灣媒體，此次事故造成重大影響。

臺積電表示，已實(shí)時(shí)調度其他氣體供應，此現象對產(chǎn)線(xiàn)并無(wú)造成顯著(zhù)影響，芯片仍正常生產(chǎn)。不過(guò)30日上午供應商全數被擋在廠(chǎng)區外，且消息傳出30日12時(shí)臺積電18廠(chǎng)舉行生產(chǎn)會(huì )議。

據經(jīng)濟日報消息，7月30日上午，廠(chǎng)區人員出入頻繁但都三緘其口、不愿受訪(fǎng)發(fā)表意見(jiàn)；臺機18廠(chǎng)各貨運以及人車(chē)陸續進(jìn)出、上午廠(chǎng)區后方有大量水汽排出。

臺媒稱(chēng)，行業(yè)人士擔心，由于超標的氣體一直輸送到產(chǎn)線(xiàn)，恐怕會(huì )有報廢品問(wèn)題，且由于臺積電的晶圓18廠(chǎng)所負責的5nm晶圓，是蘋(píng)果iPhone的重要零組件，而隨著(zhù)新款iPhone上市在即，是否會(huì )對iPhone生產(chǎn)及供貨造成問(wèn)題，都還有待觀(guān)察。

而臺積電2019年在南科晶圓14B廠(chǎng)也曾因為光阻原料造成晶圓良率異常，報廢上萬(wàn)片芯片并重做，還因此使當年第一季營(yíng)收減少約5.5億美元，調降第一季財測，這次氣體供應出問(wèn)題，是否會(huì )造成晶圓報廢，后續影響還有待持續觀(guān)察。