據臺媒報道，今日上午10點(diǎn)20分，位于中國臺灣新竹科學(xué)園區的亞?wèn)|氣體發(fā)生起火事件?；饎菰谏衔?1時(shí)許一度變得十分猛烈，整棟廠(chǎng)房都被大火及濃煙吞噬。根據當地居民說(shuō)法，疑似聽(tīng)到3聲爆炸聲，后續工廠(chǎng)就不斷冒出火光和濃煙，甚至數公里外都看得見(jiàn)。亞?wèn)|氣體指出，目前工廠(chǎng)停工、無(wú)人員傷亡，目前也沒(méi)有供應氣體，無(wú)氣體擴散疑慮，但因火勢燃燒超過(guò)1小時(shí)，廠(chǎng)房RC結構恐怕受損，還需要待火勢撲滅后，才能確認是否有倒塌疑慮，以及厘清起火原因。臺積電、聯(lián)電等半導體業(yè)晶圓廠(chǎng)制程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣，還有制程中CVD、Etch會(huì )用到特殊氣體，亞?wèn)|氣體均有供應，是否會(huì )影響到半導體的氣體供應，有待災損的情況而定。
現場(chǎng)救災人員表示，這是多年來(lái)竹科園最嚴重的火災案，因變壓器故障引發(fā)爆炸起火，內中有很多絕緣油，這非常難滅，目前約動(dòng)員1百多個(gè)消防人員救災中，整棟廠(chǎng)房尚在燃燒中。
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外傳因亞?wèn)|氣體大火造成竹科大規模停電？對此，竹科管理局表示，亞?wèn)|氣體廠(chǎng)區內變電器發(fā)生火災，連帶影響竹科發(fā)生C級壓降，目前警消人員已緊急前往灌救和處理。據臺電壓降等級分類(lèi)，C級壓降是壓降持續時(shí)間落于0.05秒到1.0秒之間的壓降事件。關(guān)于當日上午發(fā)生的短暫壓降，世界先進(jìn)回復說(shuō)，公司部分機臺有停機進(jìn)行檢查，目前已陸續復機中，對生產(chǎn)影響有限。力積電表示，有加裝不斷電系統的機臺，隨即馬上啟動(dòng)，但未加裝的機臺受到約80多毫秒壓降的影響，實(shí)際的報廢晶圓片還在評估中，但依照過(guò)去經(jīng)驗來(lái)看，通常影響不大，且認為明天應該都會(huì )恢復正常。臺積電、聯(lián)電則表示，由于壓降時(shí)間非常短，產(chǎn)線(xiàn)未受影響，目前生產(chǎn)一切正常。
亞?wèn)|氣體(Air Liquide Far Eastern) 是由法國液化空氣集團與遠紡集團于1987年在臺灣成立的合資公司。2020年，法液空集團宣布投資2億歐元分別在臺灣的臺南和新竹科學(xué)園建設工廠(chǎng)，包括為新竹科技園的一些邏輯IC芯片研發(fā)工廠(chǎng)供氣。據悉，法液空通過(guò)其控股的遠東氣體在新竹建設兩個(gè)大型工廠(chǎng)主要生產(chǎn)高純氮氣和氬氣，新增12萬(wàn)標準立方米/小時(shí)的高純氮氣。
