新竹市亞?wèn)|工業(yè)氣體公司氣體火災
臺灣竹科位于力行五路的亞?wèn)|氣體于10點(diǎn)20分發(fā)生起火事件,火勢與濃煙密布,消防人員與消防車(chē)紛抵達現場(chǎng)救災。竹科管理局則表示,亞?wèn)|氣體公司為變壓器故障起火。
圖源:蘋(píng)果新聞網(wǎng)
因火勢十分猛烈,濃煙密布,現場(chǎng)多輛消防車(chē)出動(dòng)救災,傳出竹科也出現大規模跳電,目前火警詳細原因及是否有傷亡情況仍待厘清。
臺積電、聯(lián)電等半導體業(yè)晶圓廠(chǎng)制程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣,還有制程中CVD、Etch會(huì )用到特殊氣體,亞?wèn)|均有供應。是否會(huì )影響到半導體的氣體供應成為外界關(guān)注的重點(diǎn)。
對此,臺積電、聯(lián)電、世界先進(jìn)先后緊急回應,表示由于壓降時(shí)間非常短,產(chǎn)線(xiàn)未受影響,目前生產(chǎn)一切正常。
力積電表示,有加裝不斷電系統的機臺,隨即馬上啟動(dòng),但未加裝的機臺受到約80多毫秒壓降的影響,實(shí)際的報廢晶圓片還在評估中,但依照過(guò)去經(jīng)驗來(lái)看,通常影響不大,且認為明天應該都會(huì )恢復正常。
現場(chǎng)救災人員表示,這是多年來(lái)竹科最嚴重的火災案,因變壓器故障引發(fā)爆炸起火,內中有很多絕緣油,這非常難滅,目前約動(dòng)員1百多個(gè)消防人員救災中,整棟廠(chǎng)房尚在燃燒中。據了解,目前沒(méi)有傳出有人員傷亡。