這一年多來(lái)，全球半導體產(chǎn)能緊張，臺積電等芯片制造公司也在積極擴大產(chǎn)能，光刻機之類(lèi)的設備很搶手，在這個(gè)關(guān)鍵時(shí)刻，全球光刻機一哥ASML的工廠(chǎng)發(fā)生火災，目前損失還在評估中。據報道，ASML公司在德國柏林的工廠(chǎng)突然發(fā)生了火災，目前可以確認沒(méi)有人員傷亡，但具體的損失情況還不確定。ASML公司在給媒體發(fā)布的聲明中指出，評估損失需要幾天時(shí)間，現在就提出是否影響今年業(yè)績(jì)或者就損害索賠等問(wèn)題還為時(shí)尚早。
起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收購了這家公司，后者主要為ASML光刻機制造光學(xué)系統，這是光刻機的三大核心部件之一。這家前柏林格拉斯工廠(chǎng)為 ASML 的光刻系統制造組件，這是用于創(chuàng )建計算機芯片電路的大型機器。ASML 在一份聲明中表示，Berliner Glas 制造的設備包括“晶圓臺、標線(xiàn)卡盤(pán)和反射鏡塊”。“目前就損害或該事件是否會(huì )對今年的產(chǎn)量計劃產(chǎn)生任何影響發(fā)表任何聲明還為時(shí)過(guò)早，”ASML 表示，并補充說(shuō)評估損害需要幾天時(shí)間，并將更新盡快上市。2021年10月底，ASML發(fā)布了Q3財報，凈銷(xiāo)售額52億歐元（約合386億元），毛利率51.7%，凈利潤17億歐元（約合126億元）。官方預計四季度銷(xiāo)售額49億到52億歐元，毛利率在51%到52%。ASML稱(chēng)，三季度，EUV光刻機系統的訂單量達到了29億歐元，且當季的出貨量和收入創(chuàng )下歷史新高。目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶(hù)那里也達到了每小時(shí)加工160片晶圓的創(chuàng )紀錄效率。DUV（深紫外）光刻機方面，完成出貨1000臺ArF（氟化氬浸沒(méi)式光刻系統），這距離第一臺浸沒(méi)式光刻機（XT:1700Fi）出貨過(guò)去了15年。（快科技）
