據韓媒《朝鮮日報》4月6日報道，SK海力士利川M16工廠(chǎng)3名工人在檢查設備的過(guò)程中因毒性物質(zhì)氟酸泄露受傷。M16工廠(chǎng)是此前竣工的DRAM生產(chǎn)工廠(chǎng)。當天上午11點(diǎn)34分時(shí)，在京畿道利川市SK海力士 M16工廠(chǎng)5樓的設備進(jìn)行檢查期間，發(fā)生氫氟酸泄漏事故。氟酸是無(wú)色毒性氟化氫溶解在水中的揮發(fā)性液體。使用于半導體電路繪制Pattern的蝕刻制程中。在這起事故中，一名30歲的工人的胳膊和腿被燒傷，另有兩名雇員也因吸入氟酸氣體轉移至附近醫院。據報道，3名均無(wú)生命危險。SK海力士表示，此次事故是在對新的M16工廠(chǎng)設備進(jìn)行檢查時(shí)發(fā)生的，對半導體生產(chǎn)沒(méi)有影響。
據悉，M16工廠(chǎng)將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品，總面積5.7萬(wàn)平方米。在2021年1月，SK海力士在韓國京畿道利川總部舉行M16新廠(chǎng)竣工儀式，正式宣布新廠(chǎng)落地。
SK海力士首次在M16配備EUV（極紫外）光刻機，并從今年下半年起生產(chǎn)第四代1α納米級DRAM產(chǎn)品。未來(lái)SK海力士將提高EUV設備利用率，進(jìn)一步增強存儲器半導體相關(guān)的先進(jìn)工程技術(shù)領(lǐng)導力。
